Deskripsyon pwodwi:
Silisyòm sou izolasyon (SOI) wafers bay yon solisyon fabrikasyon ki ka ede diminye pouvwa ak chalè pandan y ap ogmante pèfòmans vitès aparèy la.
Silisyòm sou wafers izolasyon yo pi komen nan sistèm mikwo-elektromekanik (MEMS) ak avanse konplemantè metal-oksid-semiconductor (CMOS) fabrikasyon sikwi entegre. Silisyòm sou gaufrèt izolasyon amelyore anpil nan pwosesis yo ki pi tradisyonèl Silisyòm gauf yo te itilize nan.
Wafers sa yo bay yon solisyon fabrikasyon ki ede diminye pouvwa ak chalè pandan y ap ogmante pèfòmans vitès yon aparèy. Silisyòm sou wafers izolasyon yo se yon pil materyèl twa kouch ki konpoze de sa ki annapre yo: yon kouch aktif nan premye bon jan kalite Silisyòm (kouch aparèy), yon kouch oksid antere (bwat) nan diyoksid Silisyòm izolasyon elektrik, ak yon silisyòm sipò en wafer (manch). Wafers SOI yo se pwodwi inik pou aplikasyon espesifik itilizatè fen.
| Pwojè | Paramèt | |
|
An jeneral |
Dyamèt wafer (mm) |
50/75/100/125/150/200mm±25um |
|
Banza/Deformation(<> |
<10um |
|
|
Patikil (<> |
0.3um<30ea |
|
|
Apatman/dan |
Flat oswa Notch |
|
|
Eksklizyon Edge (mm) |
/ |
|
|
Kouch Aparèy |
Aparèy-kouch Kalite/Dopant |
N-Type/P-Type |
|
Aparèy-kouch Oryantasyon |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Aparèy-kouch epesè (um) |
0.1 ~ 300um |
|
|
Aparèy-kouch rezistivite (ohm • cm) |
0.001 ~ 100,000 ohm-cm |
|
|
Aparèy-kouch patikil (<> |
<30ea@0.3 |
|
|
Aparèy Kouch TTV (<> |
<10um |
|
|
Kouch Aparèy Fini |
Poli |
|
|
BOX |
Epesè oksid tèmik antere (um) |
50nm (500Å) ~ 15um |
|
Manch kouch |
Manch Wafer Kalite / Dopant |
N-Type/P-Type |
|
Manch Wafer Oryantasyon |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Manch rezistans wafer (ohm • cm) |
0.001 ~ 100,000 ohm-cm |
|
|
Manch epesè wafer (um) |
>100um |
|
|
Manch Wafer Fini |
Poli |
|
* Si kondisyon ou yo deyò nan espesifikasyon ki anwo yo, tanpri kontakte nou pou diskite pi lwen. Pou diferan epesè kouch aparèy ak koutim SOI, ka gen yon kantite minimòm lòd 15-25 wafers pou sèten espesifikasyon.
Baj popilè: 2"-8"soi wafer, Lachin 2"-8"soi wafer manifaktirè, founisè, faktori




